在当今用于无线通讯系统、移动接收终端和无线传感器网络的无线收发系统中，与IC电路连接的分立器件，如滤波器、开关和振荡器等是阻碍系统小型化和高度集成的最大技术瓶颈。因此，开发与IC电路在同一芯片集成的无源器件是开展这一领域研究的原动力。 　　微机电射频谐振器件（MEMS Resonators）是解决这一难题的最佳技术途径。不仅加工技术与IC工艺兼容，而且可获得高品质因子（Q）。研究具有高Q值的MEMS谐振器并发展新型电路和系统，将从根本上改变射频器件和产业的发展。欧美各国从上世纪九十年代起，长期支

在当今用于无线通讯系统、移动接收终端和无线传感器网络的无线收发系统中，与IC电路连接的分立器件，如滤波器、开关和振荡器等是阻碍系统小型化和高度集成的技术瓶颈。因此，开发与IC电路在同一芯片集成的无源器件是开展这一领域研究的原动力。 　　微机电射频谐振器件（MEMS Resonators）是解决这一难题的技术途径。不仅加工技术与IC工艺兼容，而且可获得高品质因子（Q）。研究具有高Q值的MEMS谐振器并发展新型电路和系统，将从根本上改变射频器件和产业的发展。欧美各国从上世纪九十年代起，长期支持射频M