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搜索资源 - 0.55~0.85μm波段增透膜的相位调控设计与研制
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0.55~0.85 μm波段增透膜的相位调控设计与研制
在0.55~0.85 μm波段范围内,在保证薄膜高透射率的同时对其相位进行调控,是多偏振成像模块项目研制的关键技术。采用等效膜层理论,使用三种氧化物薄膜材料:Ta2O5、Al2O3、SiO2,在光学玻璃H-LaK4L基底上设计并制备了相位调控增透膜。经过工艺优化,研制结果表明,在28°入射条件下,0.55~0.85 μm的波段范围内,薄膜平均透射率大于97%,其相位差小于1°。膜层能够经受航天光学薄膜产品的环境实验的检验,满足了项目的可靠性要求。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-04
文件大小:3145728
提供者:
weixin_38609693