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2.4 m望远镜铝反射镜介质保护膜的研究
利用国内首个自上向下热蒸发反射膜的大型镀膜机ZZS3200,开展了2.4 m望远镜铝反射镜镀介质保护膜的研究。根据2.4 m望远镜主镜面型,结合ZZS3200型镀膜机真空室空间几何配置,分析了介质保护膜膜厚均匀性,设计了一款自上向下热蒸发保护膜材料的蒸发舟,开展了铝反射镜的介质保护膜工艺研究。结果表明:蒸发舟蒸发特性接近1, 2.4 m主镜介质保护膜膜厚不均匀性小于13.6%。脱膜清洗效果表明,相比于SiO2保护膜,MgF2保护膜更容易清洗,可减少脱膜对镜面造成的腐蚀,并有更高的反射率, 更适合
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-08
文件大小:2097152
提供者:
weixin_38684976