利用已搭建的2.52 THz焦平面成像装置和离轴数字全息装置，通过分辨率测量和水印及铅笔字成像，研究了焦平面成像和离轴数字全息成像这两种面阵成像的性能。实验证明，常规的焦平面成像由于太赫兹波长较长，很难获得较高的成像分辨率，且成像效果受放置位置的影响严重；太赫兹离轴数字全息成像可以提高成像分辨率，但成像物体大小受系统分辨率制约；焦平面成像较离轴面阵数字全息成像更适于大目标低分辨率成像。