为了满足天文望远镜自适应光学系统的需要，研制了一个961单元的变形镜及其控制系统。利用Zygo激光干涉仪对变形镜的性能进行测试，包括单个促动器的响应测试、相邻促动器间推拉测试、耦合测试；对于变形镜的校正能力，分别进行了Waffle模式测试、Zernike多项式拟合和展平测试。测试表明，961单元变形镜在单个促动器作用下的最大面形校正量为±2.5 μm；相邻促动器间推拉变形量为4 μm；相邻促动器间的耦合为23%；相对于之前的137单元变形镜，其对Zernike多项式的拟合能力有较大地提高；展平后
