为了满足天文望远镜自适应光学系统的需要，研制了一个961单元的变形镜及其控制系统。利用Zygo激光干涉仪对变形镜的性能进行测试，包括单个促动器的响应测试、相邻促动器间推拉测试、耦合测试；对于变形镜的校正能力，分别进行了Waffle模式测试、Zernike多项式拟合和展平测试。测试表明，961单元变形镜在单个促动器作用下的最大面形校正量为±2.5 μm；相邻促动器间推拉变形量为4 μm；相邻促动器间的耦合为23%；相对于之前的137单元变形镜，其对Zernike多项式的拟合能力有较大地提高；展平后

为了开展自适应光学技术研究，研制了一系列的基于压电陶瓷促动器的连续镜面变形镜，促动器控制单元数分别为21、97、137 和961。利用变形镜作为自适应光学波前校正器，进行了多个室内、室外的自适应光学校正实验，取得了很好的实验效果，其中137 单元变形镜在1.23 m 望远镜上面的自适应光学系统中取得了对0.2″双星的校正效果，在700~900 nm 波段接近望远镜的衍射极限。介绍了变形镜的基本结构，各变形镜的主要参数测试及关键性能指标，列举了各变形镜在自适应光学系统中的应用情况。最后对变形镜的研