针对原子力显微镜(AFM)纳米成像中存在的失真问题，研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法．目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差，因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像重构方法．该方法采用分区探针针尖建模，并通过基于该探针模型的反卷积运算实现AFM 扫描图像重构，获得比较接近真实形貌的AFM扫描图像．文中介绍了算法的具体步骤，通过仿真和实验结果证明，该方法能够有效降低AFM图像重构时引入的误差，得到的图像更能反映样品表面真实的形貌．