在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件，用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm，调谐范围～1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级，注入后放大级效率提高了约50%，获得了平均30 mJ/脉冲的高光束质量的窄线宽可调谐激光，最大单脉冲能量＞50 mJ，并进行了氧气的吸收光谱实验。