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  1. ArF和KrF放电激光器的调谐

  2. 用棱镜对充分钝化的双放电受激准分子激光器作简单调谐,结果使ArF和KrF的调谐范围超过20埃。这两种调谐都不是连续的,为自吸收区域内的非激射小孔所中断。双棱镜组的色散使KrF线宽为1~2埃,ArF线宽小于0.5埃。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-08
    • 文件大小:1048576
    • 提供者:weixin_38617196