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Droplet-free TiC-DLC nanocomposite coatings deposited by combined cathodic arc MF-magnetron sputtering
中频磁控溅射制备无液滴TiC-DLC涂层，杨兵，黄志宏，用多弧中频磁控溅射技术在多种衬底上制备了TiC-DLC涂层，研究了乙炔流量和偏压的影响，发现随着乙炔流量的增加，涂层结构从含TiC的DL
所属分类：
其它
发布日期：2020-02-28
文件大小：1048576
提供者：
weixin_38656989
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