Gamma畸变是数字相移测量技术的主要误差源。以通用的均匀步长相移技术为对象，分析了Gamma畸变对相位计算的影响，建立了相位误差与谐波系数的关系模型，证明了各阶谐波系数在Gamma值影响下的递推公式，进而提出了基于离散傅里叶变换的Gamma标定技术。基于此Gamma标定值，通过Gamma预矫正降低相位误差。实验结果表明，标定的Gamma值在整个像平面具有较强的稳定性，Gamma矫正后使相位误差减小了77.5%，在曲面测量的结果中，水波纹明显得到抑制，曲面质量得以提高。