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  1. Ge和Al2O3封盖的Ge的热氧化的改进Deal-Grove模型

  2. 通过关注Ge的氧化动力学和Al2O3封顶的情况,提出了一种考虑GeO解吸通量以及氧的扩散的改进的Deal-Grove模型。此外,介绍了从整个氧化过程中提取解吸通量的方法。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-03-18
    • 文件大小:631808
    • 提供者:weixin_38626943