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  1. MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究

  2. 介绍了微机电系统(MEMS)传感器的发展现状,分析了典型的商用MEMS传感器,针对煤矿井下传感器应用特点,重点阐述并研究了基于MEMS技术的压力、气体传感器在煤矿井下应用的技术性能优势和可行性。最后,对煤矿井下的MEMS传感器的应用趋势进行了展望。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-07
    • 文件大小：557056
    • 提供者：weixin_38676216