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  1. comsol Mems模块

  2. COMSOL Multiphysics 是一款大型的高级数值仿真软件，由瑞典的 COMSOL 公司开发，广泛应用于各个领域的科学研究以及工程计算，被当今世界科学家称为“第一款真正的任意多物理场直接耦合分析软件”，适用于模拟科学和工程领域的各种物理过程，COMSOL Multiphysics以高效的计算性能和杰出的多场直接耦合分析能力实现了任意多物理场的高度精确的数值仿真，在全球领先的数值仿真领域里得到广泛的应用。目录 MEMS模块. MEMS器件:物理场和应用 MEMS模块物理场接口指南 根据空

  3. 所属分类：教育

    • 发布日期：2019-03-08
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_40376117

  1. 分析压电效应当中MEMS传感器原理和应用

  2. 压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料，它是进行能量转换和信号传递的重要载体。最早报道材料具有压电特性的是法国物理学家居里兄弟，1880年他们发现把重物放在石英晶体上，晶体某些表面会产生电荷，电荷量与压力成正比，并将其成为压电效应。压电效应可分为正压电效应和逆压电效应两种。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-13
    • 文件大小：184320
    • 提供者：weixin_38502722

  1. MEMS压力传感器原理与应用

  2. MEMS（微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-23
    • 文件大小：187392
    • 提供者：weixin_38548394

  1. 模拟技术中的数字水印在无线传感器网络敏感数据通信协议的应用

  2. 无线传感器网络所具有的众多类型的传感器，可探测包括地震、电磁、温度、湿度、噪声、光强度、压力、土壤成分、移动物体的大小、速度和方向等周边环境中多种多样的现象。基于MEMS的微传感技术和无线联网技术为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景。这些潜在的应用领域可以归纳为：军事、航空、反恐、防爆、救灾、环境、医疗、保健、家居、工业、商业等领域。无线传感器网络是一种全新的信息获取平台，能够实时监测和采集网络分布区域内的各种检测对象的信息，并将这些信息发送到网关节点，以实现复杂的指定范围内目标检测与跟踪，具有

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：198656
    • 提供者：weixin_38645266

  1. 传感技术中的分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

  2. MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 　　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：253952
    • 提供者：weixin_38557515

  1. 传感技术中的基于CAV424的电容式压力传感器测量电路设计

  2. 摘要： 随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中， 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元， 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好， 抗干扰性强， 且通过非线性补偿有良好的线性。实验结果表明， 实际电路与理论分析具有良好的一致性。 　　0 引言 　　硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好， 非线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量领域。但是差动电容式压力传

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：308224
    • 提供者：weixin_38682242

  1. 消费电子中的CMOS电容式微麦克风设计

  2. 随着智能手机的兴起，对于声音品质和轻薄短小的需求越来越受到大家的重视，近年来广泛应用的噪声抑制及回声消除技术均是为了提高声音的品质。相比于传统的驻极体式麦克风(ECM)，电容式微机电麦克风采用硅半导体材料制作，这便于集成模拟放大电路及ADC(∑-Δ ADC)电路，实现模拟或数字微机电麦克风元件，以及制造微型化元件，非常适合应用于轻薄短小的便携式装置。本文将针对CMOS微机电麦克风的设计与制造进行介绍，并比较纯MEMS与CMOS工艺微导入麦克风的差异。 　　电容式微麦克风原理 　　MEMS微麦

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：190464
    • 提供者：weixin_38645862

  1. 图解MEMS压力传感器原理与应用

  2. MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：345088
    • 提供者：weixin_38741540

  1. 图文详解MEMS压力传感器原理与应用

  2. MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-19
    • 文件大小：351232
    • 提供者：weixin_38584043

  1. MEMS压力传感器的原理与应用

  2. MEMS（MicroElectromechanicalSystem，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-25
    • 文件大小：232448
    • 提供者：weixin_38618094

  1. 快速傅里叶变换与线性调频Z变换联合算法在光纤法布里-珀罗传感器解调中的应用

  2. 将快速傅里叶变换(FFT)与线性调频Z变换(CZT)联合变换的方法应用到法布里-珀罗(F-P)腔传感器的解调中,从理论上分析了该方法的解调原理及误差。模拟计算得出,该联合算法解调出的腔长的相对误差达到0.01%,腔长的最大绝对误差小于0.05 μm。在对测量范围为0～3 MPa的F-P腔微机电系统(MEMS)压力传感器进行的解调试验中,该算法可以辨别0.01 MPa的压力,腔长与压力数据的拟合度为0.99316,测量压力与实际压力的标准偏差小于0.005 MPa。实验结果表明,FFT与CZT联合

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-26
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38688906

  1. 径向基函数神经网络在光纤法布里-珀罗传感器解调中的应用

  2. 提出了一种基于径向基函数(RBF)神经网络的光纤法布里-珀罗传感器解调方法, 从理论上分析了该方法的解调原理。从干涉谱中提取特征值, 利用干涉谱的特征值和腔长作为训练集, 对RBF网络进行训练, 训练好的网络就可以实现预测腔长的功能。在测量范围为0～2 MPa的法布里-珀罗(F-P)腔MEMS压力传感器进行的解调实验中, 该算法可以辨别0.1 MPa的压力, 腔长与压力数据的拟合度为0.98858。仿真计算得出, 该方法解调出的腔长的相对误差达到0.02% , 腔长的最大绝对误差小于0.1 μm

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38658568

  1. 数字水印在无线传感器网络敏感数据通信协议的应用

  2. 无线传感器网络所具有的众多类型的传感器，可探测包括地震、电磁、温度、湿度、噪声、光强度、压力、土壤成分、移动物体的大小、速度和方向等周边环境中多种多样的现象。基于MEMS的微传感技术和无线联网技术为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景。这些潜在的应用领域可以归纳为：军事、航空、反恐、防爆、救灾、环境、医疗、保健、家居、工业、商业等领域。无线传感器网络是一种全新的信息获取平台，能够实时监测和采集网络分布区域内的各种检测对象的信息，并将这些信息发送到网关节点，以实现复杂的指定范围内目标检测与跟踪，具有

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：191488
    • 提供者：weixin_38752907

  1. CMOS电容式微麦克风设计

  2. 随着智能手机的兴起，对于声音品质和轻薄短小的需求越来越受到大家的重视，近年来广泛应用的噪声抑制及回声消除技术均是为了提高声音的品质。相比于传统的驻极体式麦克风(ECM)，电容式微机电麦克风采用硅半导体材料制作，这便于集成模拟放大电路及ADC(∑-Δ ADC)电路，实现模拟或数字微机电麦克风元件，以及制造微型化元件，非常适合应用于轻薄短小的便携式装置。本文将针对CMOS微机电麦克风的设计与制造进行介绍，并比较纯MEMS与CMOS工艺微导入麦克风的差异。 　　电容式微麦克风原理 　　MEMS微麦

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：240640
    • 提供者：weixin_38613681

  1. 分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

  2. MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 　　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：243712
    • 提供者：weixin_38657115

  1. 基于CAV424的电容式压力传感器测量电路设计

  2. 摘要： 随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中， 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元， 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好， 抗干扰性强， 且通过非线性补偿有良好的线性。实验结果表明， 实际电路与理论分析具有良好的一致性。 　　0 引言 　　硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好， 非线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量领域。但是差动电容式压力传

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：412672
    • 提供者：weixin_38733875

  1. 高温微型压力传感器的制作工艺及应用原理解析

  2. 压力传感器是使用为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。 　　高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：240640
    • 提供者：weixin_38670983