考虑到诸如光束大小，反射镜宽度和反射镜间隙等参数，开发了用于评估MEMS反射镜阵列上高斯光束耦合特性的通用公式。 基于该公式，针对波长选择开关和可调光滤波器中使用的MEMS反射镜阵列，模拟了每个参数对光谱响应的影响。 仿真结果有助于光学器件中MEMS反射镜阵列的设计。