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搜索资源列表

  1. 一种新型MEMS惯导加速度计的设计与研究

  2. 采用微机械加工技术制造出的MEMS器件不但具有体积微小化、功能集成 化的特点；而且提高了使用的可靠性，降低了成本，这对于许多高新技术领域 的发展具有重要意义。加速度传感器就是MEMS技术应用的一个重要领域之一。 MEMS惯导加速度传感器是微惯性测量组合(MIMU)的核心部件，在军用航 空和民用相关领域有重要的发展前景，研究高性能的MEMS惯导加速度计已成 为世界各国的研究热点。

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2011-04-10
    • 文件大小：4194304
    • 提供者：zaixingshou123

  1. MEMS器件工艺设计

  2. 该资料为MEMS器件设计工艺的基础,详细介绍了常见MEMS器件工艺流程,具有代表性

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2011-04-13
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：chxxtu2009

  1. MEMS pro 教程

  2. 一款用于MEMS版图设计的好软件的教程, 内置了很多MEMS器件常用的图形库

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2011-04-19
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：qianyuice

  1. Photonic+MEMS+Devices..+Design,+Fabricat

  2. 详细介绍了MEMS器件的封装 设计 工艺流程等

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2012-07-20
    • 文件大小：24117248
    • 提供者：haoyu422

  1. 微机电系统 MEMS PPT

  2. MEMS入门的资料，详细介绍MEMS器件

  3. 所属分类：电信

    • 发布日期：2013-04-08
    • 文件大小：7340032
    • 提供者：luckyjimmyray

  1. MEMS技术系统级仿真技术

  2. MEMS器件的系统级仿真技术，深入浅出 非常值得借鉴 适合从事MEMS的工作者和研究人员

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2014-09-29
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：u013249153

  1. MEMS器件气密封装工艺规范.zip

  2. MEMS器件气密封装工艺规范zip,MEMS器件气密封装工艺规范

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2019-09-12
    • 文件大小：370688
    • 提供者：weixin_38744435

  1. 基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法

  2. 基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法，吕湘连，苑伟政，针对含复杂结构的MEMS器件，提出基于异构宏模型的系统级建模方法，即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器�

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-03-14
    • 文件大小：524288
    • 提供者：weixin_38661236

  1. 基于Wavelet-Galerkin法的微机械谐振器件挤压膜阻尼求解方法

  2. 基于Wavelet-Galerkin法的微机械谐振器件挤压膜阻尼求解方法，刘宗斌，李普，正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。本文对利用Wavelet-Galerkin方法求解微机械谐振器件的挤压膜阻尼做了初步计算，首先�

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-01-19
    • 文件大小：457728
    • 提供者：weixin_38711972

  1. MEMS器件气密封装工艺规范

  2. 讲述微动机械元件的封装制造工艺，介绍各种MEMS的知识。

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2012-11-01
    • 文件大小：389120
    • 提供者：huoyueqi

  1. MEMS传感器加快机器人智能化步伐

  2. MEMS传感器是令人惊奇的小器件，大小仅为几平方毫米，通常包含两个芯片。一个是传感器芯片，通常来说MEMS器件提供运动或压力信息，但它也可以用作磁性固态传感器。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-15
    • 文件大小：169984
    • 提供者：weixin_38604653

  1. 基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计

  2. 本设计是一种基于MEMS器件的生物运动微惯性测量装置。利用该装置实现了对SPC-III机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量，为国内首次利用MEMS器件进行的活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础，为机器鱼仿生推进设计理论提供支撑。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-13
    • 文件大小：566272
    • 提供者：weixin_38694529

  1. 介绍一种MEMS器件主流加工技术

  2. 硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅衬底材料的深刻蚀，可得到较大纵向尺寸可动微结构。表面MEMS加工技术主要通过在硅片上生长氧化硅、氮化硅、多晶硅等多层薄膜来完成MEMS 器件的制作。利用表面工艺得到的可动微结构的纵向尺寸较小，但与IC工艺的兼容性更好，易与电路实现单片集成。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-13
    • 文件大小：425984
    • 提供者：weixin_38629274

  1. 压力传感器将成为头号MEMS器件

  2. 据IHSiSuppli公司的MEMS与传感器研究报告，由于价格相对较高，以及在汽车、医疗与工业等领域的应用范围不断扩大，压力传感器到2014年将成为销售额最高的微机电系统(MEMS)器件。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-08
    • 文件大小：67584
    • 提供者：weixin_38709379

  1. mems器件在汽车上有哪些应用

  2. mems器件在汽车上的一些应用

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-30
    • 文件大小：44032
    • 提供者：weixin_38739900

  1. 基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计

  2. 开发一种生物运动微惯性测量装置，以基于ARM7的LPC2129为核心处理单元，采用MEMS陀螺和MEMS加速度计为测量传感器。该装置实现了对SPC-III机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量，为活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-19
    • 文件大小：397312
    • 提供者：weixin_38592332

  1. 基于MEMS器件的低成本微惯性导航系统设计

  2. 设计了一款基于MEMS陀螺和MEMS加速度计的低成本微惯性导航系统。采用“四元数”法进行姿态计算，通过比力变换、积分运算确定栽体的速度、位置。分析样机运行结果可知，静态运行15 s，姿态误差最大为1．2°，速度误差最大为4．5 m／s，位置误差最大为33 m。实验表明，该系统发散较快，但短期精度较高，为满足长时间导航，必须与其他导航如GPS组合，即可应用到普通导航领域，且能大大降低系统的成本和体积。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-24
    • 文件大小：270336
    • 提供者：weixin_38722588

  1. 工业电子中的松下电工推进在华控制机器业务 推出3个MEMS器件系列

  2. 松下电工株式会社将在中国的IT、车载、工业机器市场加速推进尖端控制机器事业。北京、厦门、上海的3家工厂已开始生产第四代信号继电器、0.4mm窄间距连接器、小型车载继电器、小型PLC(可编程控制器)，并将进一步得到加强。  　　另外，松下电工控制机器事业本部公布将从2005年11月1日在中国发售运用了MEMS技术的超尖端产品——3个超小型器件系列。新产品包括世界上首次量产成功的米粒大小的MEMS继电器“ME―X”、静电容量式单轴加速度传感器“GS1”、压电阻式3轴加速度传感器“GS3”3个系列。 

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-28
    • 文件大小：57344
    • 提供者：weixin_38559646

  1. 基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计

  2. 基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计、电子技术,开发板制作交流

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-03
    • 文件大小：544768
    • 提供者：weixin_38617615

  1. MEMS器件在低成本微惯性导航系统的应用

  2. MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：286720
    • 提供者：weixin_38693528
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