在过去十年中，对能量收集器的兴趣Swift增长。 悬臂形压电能量收集梁是最常用的设计之一，因为它具有简单性和灵活性，可以进一步提高性能。 MEMS压电振动能量采集器的研究工作是使用三种悬臂材料设计的，分别是铌酸锂（LiNbO3），氮化铝（AlN）和氧化锌（ZnO），并使用COMSOL Multiphysics封装使用不同的基板材料：铝，钢和硅。设计和分析。 使用有限元方法（FEM）对不同悬臂材料和基板的电压，机械功率和电功率与频率之间的关系进行了建模和仿真。 LiNbO3 / Al，AlN /