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  1. 第1讲 MEMS表面微加工技术（2006）[1].part1.rar

  2. MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2008-11-27
    • 文件大小：921600
    • 提供者：evanzhou2000

  1. 第1讲 MEMS表面微加工技术（2006）[1].part2.rar

  2. MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术,MEMS表面微加工技术

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2008-11-27
    • 文件大小：251904
    • 提供者：evanzhou2000

  1. 详解MEMS振动陀螺仪.pdf

  2. 微电子系统（MEMS）技术以微观尺度融合电气和机械系统，彻底改变了惯性传感器。自1991年Draper实验室首次对微机械陀螺仪进行演示以来，已经有了在表面微机械加工微机械加工，混合表面 - 体粒加工技术或替代制造技术中制造的各种微机械陀螺仪设计。受到同一时代微机械加速度计取得巨大成功的启发，广泛研究商用微机械陀螺的研究工作引领了一些创新的陀螺仪拓扑，制造和集成方法以及检测技术。因此，在各种基于微机械加工的批量制造工艺中，已经有效地实施并演示了利用振动元件进行试验并检测科里奥利力的振动微机械陀螺

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2019-07-23
    • 文件大小：13631488
    • 提供者：weixin_39841882

  1. 传感技术中的基于DSP的数字式MEMS加速度传感器的设计与应用

  2. 引言 　　加速度传感器一直是振动测试中的重要元件。ADXL203加速度计是美国模拟器件（ADI）公司的新型单芯片双轴传感器，测量范围是±1.7g.可以承受3500g振动冲击。相对于传统的加速度计，他的成本比较低，性能好，功耗低。此外，该加速度计可以同时测量两个垂直方向的加速度，适用于静态和动态的加速度测量。 　　测量原理 　　ADXL203采用先进的MEMS技术，由一个利用表面微机械加工的多晶体硅机构和一个差动电容器组成。在加速度的作用下，多晶体硅结构会产生偏移，于是就会拉动电容的运动极板

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-10
    • 文件大小：93184
    • 提供者：weixin_38501363

  1. 传感技术中的基于TMS320LF2407的加速度度传感器ADXL203的设计与应用

  2. 一  引言 　　加速度传感器一直是振动测试中的重要元件。ADXL203加速度计是美国模拟器件（AD）公司的新型单芯片双轴传感器，测量范围是±1.7g.可以承受3500g振动冲击。相对于传统的加速度计，他的成本比较低，性能好，功耗低。此外，该加速度计可以同时测量两个垂直方向的加速度，适用于静态和动态的加速度测量。 　　二 测量原理 　　ADXL203采用先进的MEMS技术，由一个利用表面微机械加工的多晶体硅机构和一个差动电容器组成。在加速度的作用下，多晶体硅结构会产生偏移，于是就会拉动电容的

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-18
    • 文件大小：132096
    • 提供者：weixin_38686557

  1. TERAVICTA公司MEMS开关新增0~26.5GHZ产品

  2. 在不久前公布产品开发蓝图之后，TeraVictaTechnologies公司近日推出新款工作频率为0~26.5GHz的SPDTMEMS开关---TT1244。该公司在此前就表明将利用其所独有的、已经验证的MEMS制造技术推出新款开关产品。通过改进以往DC~7GHz开关的基础加工工艺和设计水平，TT1244的带宽和线性性能与同类开关解决方案相比有质的飞跃、体积则大大缩小、功耗也大大降低。     TT1244具有极低的插入损耗和不错的IP3，可用于增强系统性能。TT1244采用标准表面贴着微BGA

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-26
    • 文件大小：43008
    • 提供者：weixin_38675465

  1. 硅-硅直接键合技术在MEMS上的进展

  2. 对MEMS的研究主要基于硅材料，MEMS机械加工使用最广泛的是表面微机械加工和体硅微机械加工工艺。表面微机械加工技术由于与IC平面工艺兼容性好，得到了广泛的应用，但纵向尺寸受到限制。体硅加工技术各个方向都不受限制，具有极大的灵活性，但加工技术与IC工艺不太兼容，克服这个缺点的方法只能是键合技术。1998年，荷兰Twente大学MESA研究所用直接键合的方法制备出纵横比很高的多层衬底（Si－SiO2－p－Si－SiO2－Si），该结构表现出了良好的机械性能，器件的结构灵活性增强，仅受RIE ( R

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：47104
    • 提供者：weixin_38606466

  1. 三维立体结构微纳电极研究

  2. 基于体硅加工工艺和纳米材料技术,研制微电机系统(MEMS)尺度敏感微结构与纳米铂颗粒的复合结构,提高微电极电化学性能,制备具有三维立体微结构的安培型微电极传感器。利用硅的各向异性湿法腐蚀技术在毫米级的工作电极表面实现微米级的锥体形微池阵列,以H2O2为检测对象考察立体电极结构对传感器性能的改进效果,实验证明,立体结构的设计使传感器具有更低的检出限(8μmol/L)及更高的灵敏度(在0～200μmol/L浓度范围内检测灵敏度提高约85%),且具有较好的线性和重复性。利用电化学方法在电极

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-21
    • 文件大小：785408
    • 提供者：weixin_38553791

  1. 基于TMS320LF2407的加速度度传感器ADXL203的设计与应用

  2. 一  引言 　　加速度传感器一直是振动测试中的重要元件。ADXL203加速度计是美国模拟器件（AD）公司的新型单芯片双轴传感器，测量范围是±1.7g.可以承受3500g振动冲击。相对于传统的加速度计，他的成本比较低，性能好，功耗低。此外，该加速度计可以同时测量两个垂直方向的加速度，适用于静态和动态的加速度测量。 　　二 测量原理 　　ADXL203采用先进的MEMS技术，由一个利用表面微机械加工的多晶体硅机构和一个差动电容器组成。在加速度的作用下，多晶体硅结构会产生偏移，于是就会拉动电容的

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：141312
    • 提供者：weixin_38603936

  1. 基于DSP的数字式MEMS加速度传感器的设计与应用

  2. 引言 　　加速度传感器一直是振动测试中的重要元件。ADXL203加速度计是美国模拟器件（ADI）公司的新型单芯片双轴传感器，测量范围是±1.7g.可以承受3500g振动冲击。相对于传统的加速度计，他的成本比较低，性能好，功耗低。此外，该加速度计可以同时测量两个垂直方向的加速度，适用于静态和动态的加速度测量。 　　测量原理 　　ADXL203采用先进的MEMS技术，由一个利用表面微机械加工的多晶体硅机构和一个差动电容器组成。在加速度的作用下，多晶体硅结构会产生偏移，于是就会拉动电容的运动极板

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：92160
    • 提供者：weixin_38724247