3 静电防护 　　净化间静电防护应遵守以下基本原则： 　　（1）防止静电荷积聚；（2）建立安全的静电泄放通路；（3）采取有效的静电监控设备进行系统静电监控. 　　3.1 良好的接地系统 　　接地是指把金属导体与大地连接，使它和大地等电势，静电接地的目的是增快静电泄漏和导流，使带电物体的静电荷得以顺利释放，以避免静电积聚.净化间内，为了防止静电串扰，带来额外静电危害，应设置多路接地，如防静电接地.交流工作接地.直流工作接地.防雷接地.屏蔽接地等，这些接地共用一个接地体，接地体由三处埋入地下