采用CO2激光直写烧蚀加工技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片表面加工微通道, 分析了CO2激光输出功率和激光束移动速度对加工质量的影响。选用4.5 W输出功率和76.2 mm/s移动速度, 在30 s内加工了水力直径为100 μm的微通道。在进行微通道的大批量、快速加工时, CO2激光直写烧蚀加工技术具有较高的工艺稳定性, 工艺流程简单, 可随时根据实验需要对微通道结构进行调整和再加工。微通道的激光拉曼光谱与PMMA基片相同, 保证了微通道和盖片对聚合酶链式反应(PCR)物化学影响的一致性。