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  1. PZT薄膜的制备方法及其在压电传感器中的应用

  2. PZT薄膜的制备方法及其在压电传感器中的应用，杨凯，傅青云，锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3, PZT]薄膜因其优越的压电、介电、铁电、热电、光电性能以及易与半导体技术兼容等特点，被广泛应用于压电传感器

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-01-07
    • 文件大小：635904
    • 提供者：weixin_38581777