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  1. RF功率MOSFET产品及工艺

  2. 本文通过分析RF功率LDMOSFET的性能和结构特征，设计出RF功率LDMOSFET器件结构，通过工艺和器件模拟确定了关键参数，并设计了一套符合6寸芯片生产线的制造工艺流程，对工艺中的难点提出了解决方案。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-24
    • 文件大小：97280
    • 提供者：weixin_38677808