以TiNxOy薄膜为吸收层，设计了一种结构为SiO2-TiO2-TiNxOy-Cu的光谱选择性太阳吸收剂（SSA）。 并通过计算和实验对SSA性能进行了评估。 TiNxOy层是通过用Ar和N2气体对纯TiN靶进行RF磁控溅射而制成的。 通过使用沉积室中的残余氧气，将氧气引入TiNxOy。 已经发现，N 2流量对TiN x O y薄膜的复折射率具有很大的影响，因此可以通过控制N 2流量来优化SSA性能。 在以2 sccm的N2流量沉积TiNxOy吸收层的情况下，SSA在等于或大于5的太阳辐射聚集因