MATLAB电压均方根值计算.m文件，包括数据读取部分以及RMS计算部分。

本资源包含基于Matlab的rms方法计算矩阵、数组和向量元素的均方根值源码。 包含 实例1：创建一个向量（正弦波）并计算其均方根值 实例2：创建一个二维矩阵并计算其均方根值 实例3：计算二维矩阵沿指定维度的均方根值 本资源配套CSDN博客“Matlab结果性能评价---rms函数(计算矩阵、数组和向量元素均方根)”，可 前往查看具体原理和实现效果！！！ 希望对大家有帮助,好的话帮忙点个赞哦！感谢支持！！！

针对投影光刻物镜苛刻的像质要求，将计算机辅助装调(CAA)技术引入投影光刻物镜的装调过程中，建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4~37项，以及畸变作为校正对象，并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODE V的宏功能和Matlab结合，采集灵敏度矩阵和像质数据。提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量，通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进。将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比，发现相比于设计镜头，装调后镜头的平均波前