随着纳米研究和纳米加工技术的发展,国际上越来越重视对纳米测量的有效性和溯源性。国际计量局(BIPM)尺度计量长度工作组(CCL-WGDM)长度咨询委员会先后提出并组织了5次纳米标准样板(NANO1~NANO5)的国际比对。NANO5比对是由丹麦基础计量技术研究院(DFM)主导的。该比对是从2005年1月开始,历时1年多结束。标准样板在12个国家计量研究院所间相互循环校准,形成三个有序的环。主导实验室DFM对比对数据进行了处理,其结果已于2008年7月底公布。比对结果证明中国计量科学研究院的纳米光