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常压封装下隧道磁阻微陀螺的高灵敏结构设计
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上传时间: 2021-03-15
详细说明：针对现有微陀螺难以实现常压封装下高灵敏检测的难题，设计了两种应用隧道磁阻效应检测的微陀螺结构，分别采用面内检测与离面检测，本文从阻尼与检测磁场两方面对二者性能进行分析。首先通过对二者阻尼的计算，得到常压下面内检测结构的灵敏度为35.18 nm/(°/s)，离面检测结构的灵敏度为 3.19 nm/(°/s)，面内结构比离面结构的灵敏度高约10倍，从阻尼方面考虑，采用面内检测的结构更优；其次设计了应用于两种结构中的检测磁场，得到了面内检测磁场相比于离面检测磁场具有更高的磁场变化率，更好的磁场一致性，从磁场方面考虑，同样得到面内检测的微陀螺结构更优。因此，应用面内检测结构可以实现隧道磁阻微陀螺在常压下的高灵敏检测。
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