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上传时间: 2021-03-15
详细说明：微机械陀螺仪背后的核心技术是检测弱的科里奥利力，这种噪声的噪声水平已通过常规方法达到了极限。 本文设计了一种基于隧道磁阻（TMR）效应的面内陀螺仪结构，为在MEMS振动陀螺仪中检测该力提供了一种手段.TMR用于实现高灵敏度。 通过对设计的陀螺仪结构的理论分析，获得了检测科里奥利力的结构灵敏度。 设计并模拟了TMR装置的永磁体，并获得了磁敏度。 为了获得磁阻灵敏度，进行了实验以测试TMR器件。 在SIMULINK环境中使用从计算中获得的参数值以及从总灵敏度的实验测试中获得的一些参数值来实现TMR陀螺仪系统模型。 结合我们单独的结果，获得的TMR陀螺仪总灵敏度为1.18 mV /°/ s，理论本底噪声为9.48×10 -5°/ s /√Hz。 因此，设计的TMR陀螺仪提供了高灵敏度，同时实现了较低的噪声水平。
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