文件名称:
在用于3D微光学系统的玻璃基板上制造高集成度微透镜阵列
开发工具:
文件大小: 214kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-03-14
详细说明：微透镜阵列已被开发为集成微光学系统中的基本元件。 然而，在硬质材料上快速制造高集成度，高填充因子和多层微透镜阵列仍然具有挑战性。在此，提出了设计简便的高集成度双面凹面微透镜阵列。这些凹面微透镜阵列在双面玻璃基板上拥有近5000个密排微透镜，这是由飞秒激光湿法蚀刻Craft.io制成的。 研究了集成微透镜阵列的光学性质，该阵列表现出新颖的多样的成像图案，例如同轴嵌套的矩形，同轴嵌套的六角形，非同轴嵌套的六角形成像图案等。此外，可以形成多样的成像图案。通过控制微透镜的形状，大小以及双面玻璃芯片上微透镜阵列的排列，可以轻松实现。
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