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Bi2O3缓冲的Pt / Ti / SiO2 / Si衬底上溶胶-凝胶衍生的BiFe0.95Mn0.05O3薄膜的铁和压电性能增强
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上传时间: 2021-03-10
详细说明：使用溶胶-凝胶法在Pt / Ti / SiO2 / Si和Bi2O3 / Pt / Ti / SiO2 / Si衬底上制备BiFe0.95Mn0.05O3薄膜。 两种膜在1到16.7 kHz的频率范围内都可以观察到饱和的方形PE磁滞回线。 Bi2O3 / Pt / Ti / SiO2 / Si上的BiFe0.95Mn0.05O3 BiFe（0.95）Mn（0.05）O（3）膜表现出较大的2P（r）（类似于156μC / cm（2）），较小2E（c）（类似于510 kV / cm），更对称的PE环路，更强的电荷保持能力（在10（4）s后AP的损失仅为2％）和耐疲劳性（在之后观察不到Delta P的损失）与直接沉积在Pt / Ti / SiO2 / Si上的薄膜相比，该薄膜具有1010个开关周期。 更重要的是，前者可以使用压电模式原子力显微镜系统均匀极化，并表现出更大的压电系数（类似于64 pm / V）。 这些结果应归因于Bi2O3缓冲层，它可以促进晶粒生长，从而消除在带负电的缺陷之间形成的缺陷复合物，例如（Mn-Fe3 +（2+））'； 或（Fe-Fe3 +（2+）。）'； 和氧气的空
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