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使用LaNiO3种子层的（100）取向Ba（Zr0.2Ti0.8）O-3-0.5（Ba0.7Ca0.3）TiO3薄膜的低温生长
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上传时间: 2021-03-10
详细说明：通过溶胶-凝胶法成功地实现了Ba（Zr0.2Ti0.8）O-3-0.5（Ba0.7Ca0.3）TiO3（BZT-0.5BCT）薄膜的低温生长，温度低至550摄氏度。使用LaNiO3种子层的凝胶路径。 详细研究了晶种层对薄膜的结晶行为和电性能的影响。 已经发现，通过在膜和基底之间引入种子层，可以同时实现低界面扩散和高（100）取向。 由于低温结晶和低界面扩散而获得低泄漏电流密度，并且由于高取向而使压电系数保持在相对较高的值。 这项研究表明，低温结晶可抑制界面扩散，并可以扩展膜的应用范围，例如将其与硅基板集成在一起。 （C）2015 Elsevier BV保留所有权利。
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