文件名称:
基于单层光栅零级衍射的高精度微位移传感器
开发工具:
文件大小: 768kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-03-08
详细说明：报道了一种基于单层光栅零级衍射的高精度微位移传感器。 当激光的一部分被光栅反射衍射而另一部分被反射镜垂直反射并再次被光栅衍射时，就会发生激光光栅干涉，从而产生光学干涉检测。 为了获得光学干涉检测的最佳对比度，通过衍射标量理论对光栅的占空比和衍射级进行了优化。 微位移传感器的灵敏度为0.40％/ nm，分辨率为0.6 nm，最大量程为100 µm。 这项工作实现了高性能的位移传感器，并为设计具有超紧凑结构的位移传感器提供了理论和技术基础。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
