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上传时间: 2021-03-07
详细说明：在“芯片实验室”平台上快速，轻松地创建三维（3D）微线圈阵列是微加工中的一大挑战。 在这里，我们报告了一种基于改进的飞秒激光湿法蚀刻（FLWE）技术和金属微固化Craft.io的方法，用于在熔融石英内部制造3D微线圈阵列。 基于这种方法，我们制造了3×3O形微线圈阵列和4×4线性微线圈阵列等微线圈阵列。通过注入高熔点合金，微线圈阵列的电路几乎不能断开。 微线圈阵列还表现出良好的一致性和高集成度，显示出作为实际应用设备的局限性。
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