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基于亚Kong径测试方法的合成反射镜零位测试的光学设计
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上传时间: 2021-03-07
详细说明：在离轴三镜或四镜光学系统的制造过程中，在一个公共基板上加工多个镜表面可以花费更少的时间，并大大提高了对准效率。 但是，表面测试的难度保持不变。 我们从理论上提出了一种亚Kong径测试方法，以便在合成反射镜上对两个反射镜进行零位测试。 具体而言，我们设计了一种特殊的变焦零位透镜，并有选择地使用其不同配置的子光圈波前像差使合成反射镜上相应反射镜的表面法向波前像差无效。 通过模拟一个离轴三镜系统的离轴高阶主镜（PM）和同轴高阶三反射镜（TM）的合成反射镜的空测试过程，验证了该方法的有效性，考虑到制造和对准误差。 仿真结果表明，在1064 nm波长下，PM的残留波前像差为0.033λ均方根（RMS），而TM的残留波前像差为0.025λRMS。
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