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IGZO油墨的合成及不同Ga浓度的喷墨印刷IGZO薄膜的研究
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文件大小: 1006kb
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上传时间: 2021-03-06
详细说明：通过将氯化镓（GaCl3），氯化铟（InCl3），醋酸锌二水合物[Zn（OAc）2·2H2O]和单乙醇胺（MEA）溶解在2-甲氧基乙醇的溶剂中，合成IGZO墨水。 制备了五种类型的IGZO墨水，它们具有不同的In：Ga：Zn摩尔比，可用于喷墨打印过程。 研究了不同配方的IGZO油墨的热行为，发现理想的成膜退火温度为〜450°C。 基于制备的油墨，用FujiFilm Dimatix喷墨打印机将非晶态IGZO薄膜直接印刷在玻璃基板上，然后在450°C的温度下退火1小时。 对表面形貌，晶体结构，透光率，电子迁移率和载流子浓度进行了表征和研究。 这项工作中制造的喷墨印刷非晶IGZO薄膜可以用作柔性电阻式随机存取存储设备中的开关介质。
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