文件名称:
基于迭代学习控制的原子力显微镜PID参数智能整定方法
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文件大小: 963kb
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上传时间: 2021-03-06
详细说明：比例积分微分（PID）参数在原子力显微镜（AFM）的成像过程中起着至关重要的作用。 传统的参数调整方法需要大量人力，并且在无人值守的工作环境中很难设置PID参数。 本文提出了一种基于迭代学习控制的PID参数智能整定方法，可以根据样品的形貌自动调整AFM的PID参数。 该方法通过重复行扫描直到收敛，然后再进行正常扫描以了解地形，从而获得有关PID控制器的输出信号和跟踪误差的足够信息，这些信息将用于计算适当的PID参数。 随后，通过拟合方法获得适当的PID参数，然后将其应用于常规扫描过程。 通过收敛性分析证明了该方法的可行性。 仿真和实验结果表明，所提出的方法可以智能地调整AFM的PID参数，以对不同的地形成像，从而获得良好的跟踪性能。
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