文件名称:
桥式红外热辐射器的可靠性设计和电热光学仿真
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上传时间: 2021-03-02
详细说明：介绍了用于气体传感应用的硅基微机电系统（MEMS）红外（IR）热辐射器的设计和仿真。 红外热辐射器设计为悬挂在硅框架上的桥式加热板（BSH）结构，以实现加热板与框架之间的良好隔热。 为了研究BSH结构的可靠性，在电炉和框架之间的接触角设计了三种圆角结构。 使用软件COMSOLTM（COMSOL 4.3b，COMSOL Inc.，Stockholm，Sweden），使用3维有限元方法（3D-FEM）研究BSH红外发射器的电热，热机械和热光学特性。 仿真结果表明，椭圆形圆角的BSH的应力分布最低，应力流线流动最平稳，而方形圆角的BSH的温度和应力分布最高。 热光和热响应仿真进一步表明，尽管与其他两种结构相比，其发射强度和调制带宽略有不足，但具有椭圆圆角的BSH是可靠红外热发射器的最佳设计。
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