文件名称:
硅基MEMS红外发射器的3D FEM电热力学分析与实验
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上传时间: 2021-03-02
详细说明：介绍了用于气体传感应用的硅基MEMS红外（IR）发射器的设计，仿真和制造。 使用COMSOL的焦耳加热和热膨胀模型，使用3D有限元方法（3D-FEM）分析了桥式热板结构（BHS）红外发射器和封闭式热板结构（CHS）红外发射器的电热机械耦合特性:trade_mark:。 为了设计自热结构，计算了n和p硅的红外吸收率。 BHS和CHS IR发射器是使用微机电系统技术同步制造的，用于直接性能比较。 两种类型的红外发射器都通过电学和光学测量来表征。 实验结果表明，由于采用了热隔离结构和自热结构，BHS IR发射器比CHS IR发射器具有更高的辐射密度，更低的功耗和更快的频率响应。 同时，仿真结果与相应的测量结果吻合良好，表明3D-FEM模型是有效的，可用于电热装置的优化设计。
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