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基于线性可变光学滤波器和热电堆检测器阵列的混合气CH4 / CO2 / CO检测
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上传时间: 2021-03-02
详细说明：本文介绍了中红外（MIR）线性可变光学滤波器（LVOF）和热电堆探测器的设计，制造和特性，这些探测器将用在用于CH4 / CO2 / CO测量的小型混合气体探测器中。 LVOF被设计为锥形腔Fabry-Pérot光学滤波器，可以将MIR连续光谱转换为峰值波长呈线性变化的多个窄带通光谱。 多层介电结构被用于制造锥形腔体两侧的布拉格反射器以及具有带外抑制功能的抗反射膜。 使用微机电系统技术将未冷却的热电堆探测器设计和制造为多热电偶悬挂结构。 在实验中，LVOF在2.3〜5μm的波长范围内表现出平均最大半峰宽为400 nm，平均峰值透射率为70％。 热电堆检测器在室温条件下的响应度为146μV/°C。 结果表明，该检测器可以实现CH4 / CO2 / CO混合气的定量和鉴定。
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