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基于L波段LiNbO3的SAW谐振器的制造
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上传时间: 2021-03-02
详细说明：高频表面声波（SAW）技术为无源无线传感和通信中的航空航天应用提供了许多机会。 本文介绍了基于128°YX LiNbO3衬底的L波段声表面波谐振器的设计，仿真，制造和测试。 利用有限元（FEM）方法和模式耦合（COM）理论对声表面波谐振器的设计参数进行了优化。 电子束光刻（EBL）技术用于制造叉指式换能器（IDT）和光栅反射器的亚微米级。 讨论了一些关键的EBLCraft.io（例如，电子束抗蚀剂的使用，金属沉积方法的选择，电荷积累效应和邻近效应）对SAW器件制造精度的影响。 实验上，使用改进的EBL技术制造的基于LiNbO3的SAW谐振器在1.55 GHz处出现瑞利波谐振峰，回波损耗约为-12 dB，品质因数Q为517。基于该SAW谐振器，进行了温度和应变测试。分别进行。 实验结果表明温度/应变对频移具有良好的线性依赖性，温度灵敏度分别为125.4 kHz /℃，应变灵敏度为-831 Hz / µ“。
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