文件名称:
一款基于MEMS的紧凑型红外光谱仪，用于多气体测量
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文件大小: 1mb
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上传时间: 2021-03-02
详细说明：已经开发了一种基于中红外线性可变光学滤光片（LVOF）和基于MEMS的红外热电堆探测器阵列的显微光谱仪，用于室内和工业环境中的多种气体传感。 介绍了LVOF和热电堆探测器的设计，制造和特性。 在实验上，LVOF在〜2.5〜5 um的工作光谱中心波长处表现出〜400 nm的平均FWHM和〜70％的平均峰值透射率。 热电堆探测器使用p和n多晶硅/ Al金属作为热电偶材料，其电阻温度系数为0.08％/℃，响应度为112 V / W。 LVOF可被视为安装在热电探测器阵列上方的窄带滤波器阵列，以形成便携式，廉价的中红外光谱仪，用于多气体检测。
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