文件名称:
超短激光抛光微加工的数学建模与实验研究
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上传时间: 2021-02-25
详细说明:157 nm是对硬脆材料进行激光表面微加工的理想波段。构建数学模型以探讨激光抛光材料时工艺参数对表面粗糙度Ra的影响,使用最小二乘法推导出粗糙度的计算式。利用157 nm激光对GaN外延片进行了抛光微加工的基础实验。通过比较多组模拟与实验粗糙度值,发现理论粗糙度值与实际的测量值之间有一定误差,但相对误差都在15%以下,最小的相对误差为4%。以低于15 Hz的脉冲频率和高于0.7 mm/min的扫描速度进行激光扫描刻蚀时,可以获得较低的表面粗糙度。数学模型合理地解释了抛光后底面沟壑的形成,为今后改善加工质量提供了理论依据。
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