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宽视场角1/4波片装调和加工误差对偏振检测的影响
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文件大小: 6mb
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上传时间: 2021-02-25
详细说明：波片通常用于测量光学系统的偏振效应。对于大入射角的超高数值孔径（NA）成像系统，待测光不再平行于系统光轴，而是与系统光轴有较大夹角的圆锥形光束，所以在高NA的成像系统中使用的波片不是传统的两片式零级1/4波片，而是正负晶体组合的四片式宽视场角（WVA）1/4波片。分析了WVA 1/4波片的装调角度误差（绕成像系统光轴的旋转误差和垂直于系统光轴的倾斜误差）、晶体的厚度和光轴加工误差所引起的附加相位差。分析结果显示，在NA为1.35的光刻系统中，当四片式WVA 1/4波片的装调角度误差和单片晶体光轴加工误差均为±2°时，后者比前者所引起的附加相位差大10倍以上。分析了WVA 1/4波片装调和加工误
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