文件名称:
新型溶胶-凝胶材料，用于制造作为精密温度计的长周期波导光栅滤波器
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文件大小: 481kb
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上传时间: 2021-02-23
详细说明：已经开发出一种新型的具有大的热光系数和宽的线性可调温度范围的有机-无机杂化HfO（2）/ SiO（2）溶胶-凝胶材料，用于制造长周期波导光栅（LPWG）滤波器，其参数通过使用时域有限差分（FDTD）仿真进行了优化和设计。 LPWG滤波器是一种周期性的矩形波纹光栅结构，可通过软光刻技术轻松制造。 在从19摄氏度到70摄氏度的温度范围内，所制造的LPWG滤波器元件表现出约6.5 nm /摄氏度的高温灵敏度和51摄氏度的宽线性可调温度范围，因此可以用作精密温度计。 我们的结果对于用于实现多种热光功能的LPWG滤波器的设计非常有用。
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