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基于渐近解的静电成像静电电子光学近轴横向像差理论及验证
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上传时间: 2021-02-23
详细说明：在成像电子光学中，传统上一直关注研究三阶几何横向像差和二阶近轴横向像差，但是几乎忽略了三阶近轴色差和三倍放大近轴色差的存在。 ，而理论上尚未研究近轴横向像差的一般形式。 本文在近轴方程的渐近解的基础上，着重推导了一般形式的近轴横向像差。 研究了渐近解的系数之间的关系，证明了渐近解的系数彼此相关。 通过双电极静电球面同心系统模型，推导了双电极静电球面同心系统中的两个渐近解和精确解所表示的两个特殊解，并验证和测试了近轴横向像差，其中像差系数通过近轴方程的渐近解来求解。 结果完全证明了基于渐近解的解决近轴横向像差的方法是可行和准确的。 首先推导了三阶倍率的近轴色差和三阶近轴色差，并推导了在整个近轴横向像差中占最大比例的二阶近轴色差的Recknagel-Artimovich公式，并且确认的。 提出了一种简单而清晰的形式来表示成像电子光学器件的近轴横向像差。 研究结果对成像电子光学像差理论具有理论价值，对成像管的设计具有实际意义。
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