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Fabrication and properties of high quality InGaN-based LEDs with highly reflective nanoporous GaN mirrors
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上传时间: 2021-02-22
详细说明：Distributed Bragg reflectors (DBRs) are essential components for the development of optoelectronic devices. In this paper, we first report the use of the nanoporous GaN (NP-GaN) DBR as a template for regrowth of InGaN-based light-emitting diodes (LEDs). The wafer-scale NP-GaN DBR, which is fabricated by electrochemical etching in a neutral solution, has a smooth surface, high reflectivity (>99.5%), and wide spectral stop band width (>70 nm). The chemical composition of the regrown LED thin film
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