文件名称:
不确定计量延迟的半导体Craft.io的基于最小熵的运行间控制
开发工具:
文件大小: 512kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-22
详细说明：提出了一种结合最小误差熵和最优控制策略开发的具有不确定计量延迟的半导体Craft.io运行控制方法。 在大多数半导体Craft.io中，上一次运行的产品质量数据在下一次运行开始之前通常不可用。 因此，校正步骤通常被延迟一批次或更多，并且延迟的持续时间具有随机特性是不确定的。 再加上不正确的过程模型，即使使用指数加权移动平均值（EWMA）控制器，延迟也可能导致过程输出的显着变化。 从概率的角度出发，提出了一种处理不确定的计量延迟的新方法。 首先要重新检查运行控制系统的基本原理，然后通过将熵（或信息势）和跟踪误差的平均值与控制输入能量的约束相结合来给出创新的性能指标。 针对扰动和时延不是高斯的过程
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