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具有高循环混合运行控制的漂移和故障的具有循环重置（CR）折扣因子的EWMA算法
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文件大小: 543kb
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上传时间: 2021-02-22
详细说明：基于指数加权移动平均值（EWMA）统计信息的逐次运行控制器可能是最常用的某些半导体制造Craft.io步骤的质量控制。 经t hreaded - EWMA运行到运行控制是一个重要的稳定控制方案。 但是，如果干扰遵循IMA（1,1）系列，则在每个循环的前几次运行中，过程输出将有很大的偏差。 具有确定性的线性漂移，且螺纹长度较长。 在本文中，的输出螺纹- EWMA运行到运行控制的导出，被赋予稳定性的条件下，和在每个周期的前几个运行大的偏差的原因被发现。 在对系统性能进行分析的基础上， 提出了一种折现因子的循环复位算法，以减小较大的偏差并实现最小渐近方差控制。 此外，本文还讨论了如何处理阶跃故障。 通过ANALY 懋故障， 折算因子复位故障的影响- 宽容（RFT）的方式提出。 模拟研究结果显示小号 二者均方误差（MSE）和方差 建议的输出 算法比固定折扣算法低约30％至50％ 有无振荡过程中的因素。 这验证了所提出方法的有效性。
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