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高功率固体激光装置聚焦终端的90°拼接离轴抛物面镜设计
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上传时间: 2021-02-21
详细说明：离轴抛物面镜广泛应用于高能短脉冲激光装置的无像差聚焦打靶，随着对焦斑能量的需求越来越高，大多采用多路激光聚焦打靶，对聚焦元件提出了新的要求。大口径拼接抛物面镜可确保光学元件面型精度优于λ/4，且具有较好的可扩展性，90°离轴设计能有效增加激光的聚焦效率。基于几何光学和衍射光学，分析了90°拼接离轴抛物面镜作为聚焦终端时，拼接子镜的角度和位置失调对聚焦光斑的影响。结果表明，面外角度倾斜和光轴方向面外位置失调对焦斑斯特列尔比和20 μm直径环围功率比的影响远大于面内旋转角和位置失调，在进行拼接设计时无需补偿面内失调量；计算得到角度倾斜与位置失调的精度分别为±0.5 μrad和±105.3 nm，并
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