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上传时间: 2021-02-21
详细说明：提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器,涂敷Al2O3—ZrO2—ThO2—Pt—Pd和Al2O3—ZrO2—ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出汽油传感器。测试结果表明:传感器可实现汽油体积分数为(0~15)×10-3的检测(标准气为己烷),且具有线性输出特性。同时对汽油传感器的工作初始稳定性和长期稳定性问题进行了研究。
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