文件名称:
Wafer_map_pattern_classification_with_MFE_and_CNN：具有MFE和CNN的晶圆图图案分类-源码
开发工具:
文件大小: 203kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-19
详细说明：晶圆图模式分类
1.数据说明
WM-811K数据集
在实际制造中从46393个批次中收集了811457个晶圆图
172950个晶圆被领域专家标记。
9种缺陷模式类别（中心，甜甜圈，边缘环，边缘局部，局部，随机，近满，划痕）
删除了四个裸片少于100个的异常晶圆图（无图案类）
2.手动特征提取方法
1]特征提取
1）密度特征
晶圆图分为13个区域（4个边缘区域，9个中心区域）
每个区域的缺陷密度用作密度特征
13个提取的特征
2）几何特征
通过噪声过滤提取显着区域
基于最大面积的显着区域，提取六个几何特征周长，面积，短轴长度，长轴长度，坚固性和偏心率
6个提取的特征
3）features功能
通过radon变换创建根据一系列投影创建晶圆图的二维表示
应用三次插值以获得相同数量的行。
根据radon转换的结果和提取的行平均值得出20行 行标准差 每行
40个提取的特征
总共59个
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
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